エンジニア志望の理系大学生です。院進を考えており、修士と博士どちらまで取るか迷っています。
しかし、修士or博士号を取得するまでに掛かる費用に対して就職後の待遇が見合うものなのかが未知数で分かりません。
学士・修士・博士でそれぞれ給与や待遇は具体的にどのくらい違いますか？踏み込んだ質問で申し訳ないですが、hakさんの実際の経験や学位なども踏まえてお伺いしたいです。

こんにちは、ご質問ありがとうございます。
自分は学位は学士（BA、しかも文学部で職務とは全然関係ない）ためコメントすると地雷踏んでしまうのですが、感覚としましては
・修士(ma)はあまり関係ない
・博士(PhD)には(潜在的に)無限の価値がある
というものです。

まず最初にコストについてですが、単純な必要経費としての学費分に加えて就労年数が減る機会損失費用分も計算に入れる必要があります。
例えばma取得に2年間かかった場合、ざっくり必要経費で200万円、就労年数2年の機会損失(引退前の2年分)で仮に2000万円として約2200万円、Phdだと5年として約5500万円（どんぶり勘定です）のコストになります。
仮にbaの場合の就労年数を45年とすると、maの場合だとざっくり年5０万円(2200/43)、PhDの場合年140万円(5500/40)分所得が上昇すれば費用対効果に合う計算になります。

次に実際の待遇についてですが、まず自分の知る限りではbaとmaとで職種自体は変わらない事が多いです。そして職種が変わらない場合は待遇は個人のパフォーマンスによって評価されます（一部の会社ですと年齢給や学位手当があったりするケースもありますが、そうした会社ではそもそも上記のコストを回収できないケースが多いです）。別に参考になる観点として米国永住ビザの取得条件ではba+5年の就労経験がma相当とされます（つまり本質的にmaとbaは変わりが無い）。
こうした点から、maを取ること自体は直接は待遇とは関係がなく、2年多く高等教育を受ける事と、その期間分に実務経験積むこととを天秤にかけてどちらが好ましいか、という問題になるかと思います（そこは進学する院、勤める会社で全然変わってきますのでなんとも言い難いとこです）。

一方でPhDの場合、そもそも研究職ポジションなどPhD取得者を前提としたポジションが多くあり、求められるアウトプットも人類の新しい領域を切り開いていく役割が期待されます。
こうしたポジションの場合、上記コストの回収はそれほど難しくないかと思います。
また、（生存バイアスも大きいと思いますが）同じソフトウェア・エンジニアの職にあっても自分の知るPhD保持者の方々はもれなく相当できて周囲の畏怖と敬意を集めています。就職にあたってもPhD保持者であれば書類審査でフィルタされる事はまず無いかと思います。
このように、
・PhD保持者にしかつけないポジションがある
・PhD取得時に相当修練を積むため、個人のパフォーマンスも相当アップする
・（特にUSの場合）PhD信仰があるので別次元のハクがつく
という点からPhD取得はおすすめしたいと思います。
注意点としましては
・「PhDを取ることで就職に不利」という点は自分の知る範囲（情報科学のPhDを取得して国際企業に就職する）ではそのような事は聞きませんので安心して良いか思います
・どの分野をどの国、どの研究室で研究するかは結構重要ですので、よく検討した方が良いかと思います

まとめますと
・ma取得での有利不利はほとんど無く、本人が2年間をどう使うかの問題
・PhD取得のアドバンテージはかなり大きい。取得できるのであれば取得がおすすめ
となります。是非PhD学位取得を検討ください。

具体的な職種ごとの職務や賃金につきましては、長くなってしまいましたのでまた別の機会にコメントできればと思います。